Tez No	İndirme	Tez Künye	Durumu
173101	Bu tezin, veri tabanı üzerinden yayınlanma izni bulunmamaktadır. Yayınlanma izni olmayan tezlerin basılı kopyalarına Üniversite kütüphaneniz aracılığıyla (TÜBESS üzerinden) erişebilirsiniz.	An adjustable impedance matching network using RF MEMS technology / RF MEMS teknoloji ile ayarlanabilir empedans uyumlama devresi Yazar:MEHMET ÜNLÜ Danışman: DOÇ.DR. TAYFUN AKIN ; Y.DOÇ.DR. ŞİMŞEK DEMİR Yer Bilgisi: Orta Doğu Teknik Üniversitesi / Fen Bilimleri Enstitüsü / Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Bölümü Konu:Elektrik ve Elektronik Mühendisliği = Electrical and Electronics Engineering Dizin:	Onaylandı Yüksek Lisans İngilizce 2003 152 s.
oz RF MEMS TEKNOLOJİSİ İLE AYARLANABİLİR EMPEDANS UYUMLAMA DEVRESİ Ünlü, Mehmet Yüksek Lisans, Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Bölümü Tez Yöneticisi: Yrd. Doç. Dr. Şimşek Demir Ortak Tez Yöneticisi: Doç. Dr. Tayfun Akın Eylül 2003, 137 sayfa Bu tez RF MEMS ayarlanabilir empedans uyumlama devresinin tasarım, modelleme ve üretimini sunmaktadır. Aygıt empedans uyumlama için temel üç kütüklü empedans uyumlama tekniğini kullanmaktadır. Aygıtın üç adet, sığal (kapasitif) yüklenmiş eş düzlemli dalga kılavuzu olarak inşa edilmiş ayarlanabilir uzunlukta kütüğü bulunmaktadır. Kütüklerin sığal olarak yüklenmesi kütükler üzerine eş aralıklarla yerleştirilmiş MEMS anahtarlarla gerçekleştirilmektedir. Herkütük üzerinde A/40 aralıklarla yerleştirilmiş 40, toplam olarak da aygıtta 120 MEMS anahtar bulunmaktadır. Kütük uzunluğunun ayarlanabilirliği istenen uzunluğa en yalan MEMS anahtarın kapatılması ve toprağa sanal bir kısa devre yapılmasıyla sağlanmaktadır. Aygıt teorik olarak Smith abağı üzerinde her noktaya uyumlama yapma yeteneğine sahiptir. Aygıt, iletim hattı olarak eş düzlemli dalga kılavuzu kullanmaktadır. Aygıtın çalışma frekansı lOGHz'dir, ama aygıtın ayarlanabilirlik özelliğinden dolayı aygıtın l-40GHz arasında çalışması beklenmektedir. Aygıtın boyutları 8950 x 5720um2,dir. Bu çalışma RF MEMS aygıtların üretimi üzerine yapılan ilk ulusal çalışmanın devamıdır. Bu çalışmadaki aygıt yüzey mikroişleme teknolojisi ile Orta Doğu Teknik Üniversitesi mikroelektronik tesislerinde üretilmiştir. Anahtar kelimeler: Empedans uyumlayıcı, RF MEMS, sığal (kapasitif) yüklenmiş hat, eşdüzlemli dalga kılavuzu, mikroişleme. vı
ABSTRACT AN ADJUSTABLE IMPEDANCE MATCHING NETWORK USING RF MEMS TECHNOLOGY Ünlü, Mehmet M. Sc., Department of Electrical and Electronics Engineering Supervisor: Asst. Prof. Dr. Şimşek Demir Co-Supervisor: Assoc. Prof. Dr. Tayfun Akın September 2003, 137 pages This thesis presents design, modeling, and fabrication of an RF MEMS adjustable impedance matching network. The device employs the basic triple stub matching technique for impedance matching. It has three adjustable length stubs which are implemented using capacitively loaded coplanar waveguides. The capacitive loading of the stubs are realized using the MEMS switches which are evenly distributed over the stubs. There are 40 MEMS bridges on each stub which mare separated with X/40 spacing making a total of 120 MEMS switches in the structure. The variability of the stub length is accomplished by closing the MEMS switch nearest to the required stub length, and making a virtual short circuit to ground. The device is theoretically capable of doing matching to every point on the Smith chart. The device is built on coplanar waveguide transmission lines. It has a center operating frequency of 10GHz, but because of its adjustability property it is expected to work in l-40GHz range. It has dimensions of 8950 x 5720um2. This work is the continuation of the first national work on fabrication of RF MEMS devices. The device in this work is fabricated using the surface niicromachining technology in the microelectronic facilities of Middle East Technical University. Keywords: Impedance matcher, RF MEMS, capacitively loaded line, CPW, micromachining. IV