Tez No İndirme Tez Künye Durumu
181538
Alüminyum katkılı ZnO ince filmlerinin bazı fiziksel özellikleri / Some physical properties of alüminum doped ZnO thin films
Yazar:OLCAY EREN
Danışman: YRD. DOÇ. DR. MÜJDAT ÇAĞLAR
Yer Bilgisi: Anadolu Üniversitesi / Fen Bilimleri Enstitüsü / Fizik Ana Bilim Dalı
Konu:Fizik ve Fizik Mühendisliği = Physics and Physics Engineering
Dizin:
Onaylandı
Yüksek Lisans
Türkçe
2006
78 s.
Bu çalışmada, püskürtme yöntemi kullanılarak farklı Al oranlarında (%1, %3,%5) katkılanmış Al katkılı ZnO filmleri cam tabanlar üzerinde elde edilmiştir.Katkısızve Al katkılı ZnO filmlerinin yapısal, optik ve elektriksel özellikleri incelenmiştir. X-ışını kırınım desenlerinden elde edilen filmlerin hekzagonal ve polikristal yapıdaolduğu belirlenmiştir. Yapılanma sabitleri, tanecik boyutları ve örgü sabitlerihesaplanmıştır. Filmlerin yasak enerji aralıkları dalgaboyunun bir fonksiyonu olarakoptik absorbsiyon ölçümleri ile araştırılmış ve değerlerinin 3,2-3,3 eV arasında olduğubulunmuştur.Filmlerin ortalama optik geçirgenliklerinin %80'nin üzerinde olduğubelirlenmiştir. Absorpsiyon spektrumlarından yararlanarak filmlere ait optikgeçirgenlik, yansıma, kırılma indisi, sönüm katsayısı, dielektrik sabitleri gibi optiksabitleri de hesaplanmıştır.Filmlerin elektrik özellikleri Van der Pauw metodu kullanılarak araştırılmış vefilmlerin özdirenç değerleri 0,26 Ωcm-1,13 Ωcm arasında bulunmuştur.Anahtar Kelimeler: ZnO, Püskürtme Yöntemi, Yapısal Özellikler, Optik Özellikler,Optik Sabitleri, Van der Pauw Yöntemi
In this work, Al doped ZnO thin films doped with different aluminumconcentration (1%, 3%, and 5%) were deposited onto glass substrates by spray pyrolysismethod. The structural, optical and electrical properties of non-doped and Al-doped ZnOfilmshave been investigated. X-ray diffractometer measurements revealed that all the obtainedfilms were polycrystalline with the hexagonal structure. Texture coefficient (TC), grain sizevalues and lattice constants were calculated. The optical band gap of all the films have beeninvestigated by the measurement of the optical absorbance as a function of wavelength andfound to be between 3.2-3.3eV. The average optical transmittance for the films was over 80%in the visible range. The optical constants such as reflective index, extinction coefficient, realand imaginary compenets of dielectricconstants werw also calculated by using absorptionspectrum data.The electrical properties of the films were investigated by using Van der Pauw method.The resistivity values of the films were found between 0.26 Ωcm-1.13 Ωcm.Keywords: ZnO, Spray Pyrolysis, Structural Properties, Optical Properties, Optic Constants,Van der Pauw Method